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所谓低温等离子是继固体、气体、液体三态后,列为物质的第四态,由正离子、负离子、电子和中性粒子组成,因体系中正负电荷总数相等,故称为“等离子体”。等离子体按离子温度可分为平衡态(电子温度=离子温度)与非平衡态(电子温度>离子温度)两类。非平衡态等离子体电子温度可上万度,离子及中性离子可低至室温,即体系表观温度仍很低,故称为“低温等离子体”一般由气体放电产生。